Según un anuncio de Shanghai On-chip Micro-Device Technology Co., Ltd. (denominado "On-chip Micro-Device" o "AMIES"), la compañía celebró ayer una ceremonia de entrega de su máquina de litografía paso a paso número 500, lo que marcó un nuevo nivel para la industria de equipos semiconductores de alta gama de mi país.
El microensamblaje en chip dice que la máquina de litografía de embalaje avanzada es el producto estrella de AMIES. Tiene características importantes como alta resolución, alta precisión de superposición y campo de visión de exposición ultragrande. Tiene poderosas capacidades de procesamiento de deformaciones y pegamentos gruesos, y puede configurar equipos de manera flexible de acuerdo con las necesidades de proceso específicas de los clientes.
Este tipo de producto puede cumplir con los requisitos de tecnologías de embalaje avanzadas como Flip-chip, Fan-in, Fan-out WLP/PLP, 2.5D/3D, etc., y ha sido altamente reconocido por el mercado. La cuota de mercado global actual ha alcanzado el 35% y la cuota de mercado nacional ha alcanzado el 90%.
La máquina de litografía paso a paso número 500 enviada esta vez se entregará a Shenghejing Micro Semiconductor (Jiangyin) Co., Ltd. Shenghe Jingwei y AMIES tienen una buena base para la cooperación. Shenghe Jingwei expresó su voluntad de profundizar aún más su cooperación estratégica con AMIES y promover conjuntamente la innovación en tecnología de embalaje avanzada y el desarrollo industrial.
Según los datos, Chip-on-chip Micro-Device se estableció el 8 de febrero de 2025. Es una empresa de tecnología innovadora que se centra en la investigación y el desarrollo, la producción y el servicio de equipos semiconductores de alta gama. La compañía se compromete a proporcionar equipos y soluciones de alta precisión, alto rendimiento y alta confiabilidad para campos de aplicación como la fabricación de chips frontales de circuitos integrados, empaques avanzados a nivel de oblea/placa, semiconductores compuestos y nuevas pantallas.
¿Qué es exactamente una máquina de litografía paso a paso (que consta de tres partes: mesa de trabajo, mesa de máscara y sistema de enfoque y nivelación)? En realidad, es un dispositivo de exposición de proyección de alta precisión (un equipo central indispensable) para la fabricación de circuitos integrados, un equipo de fabricación de semiconductores que logra la transferencia de patrones de alta resolución mediante tecnología de litografía paso a paso. Su función principal es proyectar el patrón de máscara en la superficie de la oblea campo por campo.
El sistema óptico de la máquina de litografía paso a paso, como clave de su tecnología, cubre múltiples componentes centrales, como el sistema de iluminación, la lente del objetivo de proyección y la máscara. El sistema óptico incluye iluminación, objetivos de proyección y retícula, respaldando la alta resolución y rendimiento de la máquina de litografía.
