Durante mucho tiempo, la tecnología de litografía EUV se ha utilizado principalmente para crear los chips lógicos y de memoria más potentes.Sin embargo, el Centro Belga de Investigación en Microelectrónica (IMEC) utilizó recientemente con éxito el equipo de litografía EUV de ASML por primera vez para lograr la fabricación a nivel de oblea de nanoporos de estado sólido en una oblea de 300 mm.
Este desarrollo fue aclamado por el jefe de relaciones públicas de ASML como una "aplicación biomédica inesperada y excepcional".
Los llamados nanoporos son pequeños agujeros con un diámetro de sólo unos pocos nanómetros y su finura es de aproximadamente una diezmilésima parte de un cabello humano. En el campo de la biodetección, los nanoporos funcionan como "puntos de control moleculares".
Cuando la corriente iónica fluye a través del agujero,Las moléculas (como virus, proteínas o ADN) que contienen producen señales únicas para la corriente eléctrica. Basándose en estas señales eléctricas únicas, los científicos pueden identificar el tamaño, la estructura y la carga de las moléculas con alta sensibilidad.
Aunque los nanoporos tienen un gran potencial en genómica y proteómica, la producción a gran escala no ha sido posible en el pasado debido a la variabilidad de la fabricación y las dificultades de integración.
El gran avance de imec es utilizar la tecnología EUV para garantizar un alto grado de consistencia en el tamaño de los poros. Actualmente, el tamaño de los poros se ha reducido con precisión a unos 10 nanómetros y se espera que supere los 5 nanómetros mediante mejoras en el proceso en el futuro.
Además, este método es compatible con CMOS, lo que significa que los biosensores se pueden producir en masa en obleas de 300 mm, como si fueran chips.
Ashesh Ray Chaudhuri, director de proyectos de I+D de imec, dijo que la aplicación de la infraestructura EUV utilizada originalmente para la fabricación de chips a las ciencias biológicas ha abierto la puerta a matrices de biosensores de alto rendimiento.