Recientemente, la Administración Nacional de Propiedad Intelectual anunció queHuawei Technologies Co., Ltd. solicitó una patente titulada "Dispositivo de procesamiento de obleas y método de procesamiento de obleas" y fue aprobada. El número de publicación es CN117219552A y la fecha de solicitud es junio de 2022. El resumen de la patente muestra que las realizaciones de la presente divulgación se relacionan con aparatos de procesamiento de obleas y métodos de procesamiento de obleas.

El dispositivo de procesamiento de oblea incluye: un portador de oblea, que puede girar a lo largo de un eje de rotación; un brazo robótico, que incluye una mano robótica, para transportar la oblea y colocar la oblea en el soporte de oblea; un controlador; y un componente de calibración.

Incluye: una placa de rejilla fijada con respecto a la etapa de oblea; una fuente de luz fijada con respecto a la placa de rejilla; y un elemento de imagen dispuesto fijamente en el brazo mecánico y adaptado para recibir luz emitida desde la fuente de luz y transmitida a través de la placa de rejilla.

En el que, el controlador está configurado para controlar el brazo robótico o un dispositivo de ajuste en el brazo robótico para ajustar la posición de la oblea en función de la detección de la luz recibida por el elemento de imagen.

Cuando el portador de oblea transporta la oblea, la placa de rejilla y el elemento de formación de imágenes se ubican respectivamente en lados opuestos del plano donde se ubica la superficie superior del portador de oblea, y la superficie superior se utiliza para transportar la oblea.

Los dispositivos y métodos proporcionados por las realizaciones de la presente divulgación pueden mejorar la eficiencia y la precisión de la alineación de las obleas.

Se informa que, a finales de 2022, Huawei posee más de 120.000 patentes autorizadas válidas, distribuidas principalmente en China, Europa, América, Asia Pacífico, Medio Oriente y África.

Entre ellos, Huawei posee más de 40.000 patentes en China y Europa cada uno, y más de 22.000 patentes en Estados Unidos.