El ejecutivo de Canon a cargo de las nuevas máquinas de litografía dijo en una entrevista:Está previsto que el equipo de litografía FPA-1200NZ2C de Canon, que utiliza tecnología de nanoimpresión, se envíe este año o el próximo.A mediados de octubre del año pasado, Canon anunció el lanzamiento del FPA-1200NZ2C basado en nanoimpresión. Canon dijo que el dispositivo utiliza una solución diferente a la compleja tecnología de fotolitografía tradicional.Se pueden fabricar chips de 5 nm.

Canon dijo que el principio de funcionamiento de este equipo es diferente al de la máquina de fotolitografía de ASML. No utiliza el principio de proyección de imágenes ópticas para transferir la microestructura del circuito integrado a la oblea de silicio.Más bien, es más similar a la tecnología de impresión, donde los patrones se forman directamente mediante la impresión.

En comparación con la tecnología de litografía EUV actualmente comercializada, aunque la velocidad de fabricación de chips de la tecnología de nanoimpresión es más lenta que la litografía tradicional, Kioxia dijo en 2021 que la tecnología de nanoimpresión puede reducir significativamente el consumo de energía y los costos de los equipos.

La razón es que el proceso de fabricación de la tecnología de nanoimpresión es relativamente sencillo.El consumo de energía se puede reducir al 10% de la tecnología EUV, y la inversión en equipos se puede reducir a solo el 40% de los equipos EUV.

Además, los equipos de nanoimpresión también pueden permitir a los fabricantes de chips reducir su dependencia de las máquinas de litografía EUV de ASML, permitiendo a las fundiciones de obleas como TSMC y Samsung tener una segunda opción de ruta y producir de manera más flexible pequeños lotes de chips para los clientes.

Sin embargo, el director ejecutivo de Canon, Mitsui Fujio, dijo una vez en una entrevista:Es posible que Canon no pueda exportar estos dispositivos a China,"Tengo entendido que cualquier exportación más allá de la tecnología de 14 nm está prohibida, por lo que no creo que podamos vender".